磁控溅射靶材的制作方法主要包括熔融铸造法和粉末冶金法两大类。
1. 熔融铸造法：熔融铸造法适用于制备金属及合金靶材。该方法通过将金属及合金材料加热至熔点，使其熔化成液态，然后将液态金属及合金倒入模具中，冷却凝固后得到靶材。熔融铸造法具有生产成本低的优点，但适用范围有限，对于难熔金属和某些非金属材料无法制备。
2. 粉末冶金法：粉末冶金法适用于制备无机非金属靶材、复合靶材以及熔点和密度相差较大的金属合金靶材。该方法通过将原材料粉末进行混合、成型和烧结等工艺过程，制备出高纯度、高致密度和良好结晶取向的靶材。粉末冶金法具有生产灵活性高、可制备多种类型靶材的优点，但生产成本相对较高。
研邦新材料在靶材的制备过程中，严格控制材料的纯度、致密度、晶粒度以及结晶取向，同时对热处理工艺条件、后续成型加工过程也需要加以严格的控制，以保证靶材的质量。
